淺析真空鍍膜機的原理

　淺析真空鍍膜機的原理

　　真空鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大工作原理。

　　真空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用多的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。

　　輔助抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成，此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

　　排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵后續抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，已這樣的方式完成抽氣動作。