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磁控鍍膜機膜色出現差異原因及改善對策

2020-07-09  來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:941

  磁控鍍膜機膜色出現差異原因及改善對策

  膜色差異有二種(不包含色斑),一種是整罩上、中、下膜色不一致,即分光測試曲線有差異;二是單片膜色不一致。

  1.上中下膜色不一致稱為整傘(罩)均勻性不好,也稱有傘差。主要產生原因是均勻性修正板(補正板)有問題。

  2.傘片變形。也是膜色不勻的原因之一,特別是使用了較久的傘片,以往是均勻的,慢慢變得不均勻了,傘片變形就可能是主要原因了。

  3.膜料狀況的不一致,特別是升華和半升華膜料被打偏,挖坑等也會嚴重影響整罩和單片的均勻性。特別是有大量手工預熔時,各人的操作手法不一,得到的料況也會不一。

  改善思路:充分采用修正板的功能。

  改善對策:

 ?、?調整修正板,盡量考慮高低折射率膜料的平衡兼容,如果有二個蒸發源,可能的條件下,獨立使用各自的修正板,避免干擾。

 ?、?條件許可,采用行星夾具。

 ?、? 傘片整形,對傘片整形可以先加工一個R基模(選擇強度較高的原材料),在基模上對傘片整形。為防止減少傘片變形,在傘片訂購時對傘片的厚度、原材料選擇要合適。

 ?、?加強傘片管理,特別是擺放時的管理,防止因擺放不當而變形。

 ?、?改善膜料狀況,特別是電子槍蒸鍍升華、半升華材料時,不能把膜料打塌,挖坑。

 ?、?能夠自動預熔的膜料,盡量自動預熔,減少人為因素影響。

  修正板對物理膜厚的修正很有效,但對折射率的修正是力不從心的,所以完全靠修正板解決分光均勻性,是很困難的。

  如果一個修正板要對應二把電子槍(蒸發源)、以及多種膜料,就會有較大的困難。

  對于單片膜色不均勻產生的原因:

  主要是由于基片凹凸嚴重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發源構成的蒸發角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。

  另外鏡片被鏡圈(碟片)邊緣部遮擋、鏡圈(碟片)臟在蒸鍍時污染鏡片等等也會造成膜色差異問題。

  改善思路:改善鏡片邊緣的蒸發角。

  改善對策:

 ?、?條件許可,用行星夾具;

 ?、?選用傘片平坦(R大)的機臺;

 ?、?根據傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。

 ?、?如果有可能,把蒸發源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。

 ?、?改善鏡圈(碟片),防止遮擋。

 ?、?注意旋轉傘架的相應部位對邊緣鏡片的部分遮擋

 ?、?清潔鏡圈(碟片)

 ?、?改善膜料蒸發狀況。

關鍵詞: 磁控鍍膜機           

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